臭氧用于水處理的過程，是臭氧從氣相到液相的傳質過程，亦是溶于水中的臭氧同水中無機物、有機物起氧化反應的過程。受傳質速度控制的污染物去除時，應選用傳質效率高的裝置如螺旋混合器，蝸輪注入器、水噴射器等。受化學反應速度控制的污染物去除時，宜選用可較長時間保持一定溶解氧深度的接觸反應裝置，如鼓泡式接觸氧化塔，這樣能適應臭氧和污染物進行緩慢化學反應，達到分解降解污染物的目的。